【実用化実績等】
実用化実績：有
現状：実用化段階
（開発は継続中）
サポート：
実用化、応用化への支援可能
【特許】
①アクチュエータの減衰方法及びアクチュエータ
（特許第3612670号）
権利状態：県単独所有・特許権
実施許諾実績：有
実施許諾：可
権利譲渡：不可 |
| | ◎微細領域の高周波電磁波の高感度検出が可能
◎開発目標（逐次実用化）
位置決め精度：0.1nm（3σ）
動作距離：10mm～300mm
サーボ帯域：1kHz以上 |
技術内容
●1nm以下の位置決め精度を高速な動作と共に実現できるアクチュエータは、多様化するナノテクノロジーの中核を成す技術です。特に磁気記録の研究開発及び製造分野、半導体や液晶分野における製造や検査装置からは、0.1nmの位置決め精度を1kHz以上のサーボ帯域で実現することが要求されています。このためAIT（秋田県産業技術総合研究センター高度技術研究所）では、積層型圧電素子と変位拡大機構で構成されるNano-motion Actuatorに“特許第3612670号”を適用することで、3σ （99.7%の確率）において、0.1nmの位置決め精度と高速性を両立させた微動アクチュエータを世界で初めて開発しました。
秋田県産業技術総合研究センター 経営企画部 TEL：018-866-5800 所在地◎秋田県秋田市新屋町字砂奴寄4-26 |
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![共振周波数が高く、変位方向以外に高い剛性を有する位置決め精度0.1nm（3σ）のアクチュエータ及び周辺機器を含むシステムの開発と実用化
・0.1nmの繰り返し位置決め精度を有する高速・高精度アクチュエータの開発
・高速性、高剛性を維持しながら可動距離の増加を図る機構、構造系の開発
・安定した位置決め精度と応答性を有する1kHzを超える高帯域サーボシステムの開発
Fig.1 Nano-motion Actuator with damper [NMA-k302d]
Fig.2 Position accuracy of NMA-k302d](img/0380.jpg)
